单晶炉炉体爱游戏结构(晶盛160单晶炉结构)

单晶炉炉体结构

爱游戏1.一种单晶炉热场构制,应用于单晶炉,所述单晶炉包露炉体战设置于所述炉体外部天圆的坩埚,其特面正在于,包露:侧部减热器,所述侧部减热器设置于所述坩埚核心;导流单晶炉炉体爱游戏结构(晶盛160单晶炉结构)【专利阐明】单晶炉的上炉体【技能范畴】[0001]本创制触及单晶硅的耗费制制设备【技能范畴特别触及单晶炉的上炉体。【配景技能】[0002]单晶硅是具有完齐的面阵构制的晶

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晶盛160单晶炉结构

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